昨天，坐落于余杭區(qū)的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟(jì)園傳出喜訊——

杭州城西科創(chuàng)大走廊浙大成果轉(zhuǎn)化基地首批簽約孵化的項目之一，“首臺國產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機(jī)”已在客戶現(xiàn)場進(jìn)入應(yīng)用測試，其精度比肩國際主流設(shè)備，標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

在中國科技大學(xué)，浙大量子研究院相關(guān)團(tuán)隊正在對一臺模樣酷似大型鋼柜的機(jī)器進(jìn)行緊張測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)。“這不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’。”團(tuán)隊負(fù)責(zé)人說，依托省重點實驗室，研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式走向市場。

取名“羲之”，是因其精密“書寫”能力與書法家王羲之的毛筆神韻相契合。

“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。” 研發(fā)團(tuán)隊相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達(dá)到0.6納米，線寬8納米，可靈活修改設(shè)計圖案，無需傳統(tǒng)光刻所需的掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫。“芯片研發(fā)初期會設(shè)計很多版型、圖案，常常需要一條線一條線進(jìn)行修改，電子束光刻機(jī)精度高、‘書寫’便捷，極大提升了芯片研發(fā)初期反復(fù)調(diào)試的效率。”研發(fā)團(tuán)隊相關(guān)負(fù)責(zé)人說。

“羲之”的落地具有破局意義。此前，此類設(shè)備受國際出口管制，國內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)長期無法采購，“羲之”的落地徹底打破這一困局，目前已與華為海思等企業(yè)及多家科研機(jī)構(gòu)展開接洽。

浙大校友企業(yè)總部經(jīng)濟(jì)園二期實景圖

其成功并非孤例，背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新“兩新融合”的強(qiáng)力驅(qū)動。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項試點項目落地于余杭的浙江大學(xué)校友企業(yè)總部經(jīng)濟(jì)園，浙江大學(xué)、校友總部經(jīng)濟(jì)園和余杭共同聯(lián)手搭建成果轉(zhuǎn)化高速路：園區(qū)企業(yè)開出“技術(shù)需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；地方政府從實驗室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品，全流程陪跑。

“羲之”電子束光刻機(jī)的成功應(yīng)用測試，是我國高端半導(dǎo)體核心裝備國產(chǎn)化的重大突破。這把自主可控的“中國刻刀”，將為加速國產(chǎn)高端芯片的研發(fā)進(jìn)程、搶占未來科技制高點提供堅實的裝備基礎(chǔ)。

今年以來，余杭堅持以教育科技人才一體改革發(fā)展為主要支撐，以科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合為關(guān)鍵路徑，以人工智能為核心變量，整合建立教育科技人才一體推進(jìn)機(jī)制，全力推進(jìn)3個新獲批的省級教育科技人才一體改革專項試點，謀劃并實施一批教科人標(biāo)志性項目。

下一步，余杭將依托教科人一體推進(jìn)機(jī)制，圍繞高能級科創(chuàng)平臺、高層次科技人才、高水平科技企業(yè)、高質(zhì)量科技項目、高價值科技金融等“五高”主體，打造更多標(biāo)志性成果，全力建設(shè)教育科技人才一體發(fā)展示范高地。